中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是我国最早的工学研究机构之一。

上海微系统所现有传感技术联合国家重点实验室/微系统技术重点实验室、信息功能材料国家重点实验室，有中科院太赫兹固态技术重点实验室、中科院无线传感网与通信重点实验室以及中国科学院超导电子学卓越创新中心。设有传感技术、信息功能材料、太赫兹固态技术、微系统技术实验室、无线传感网与通信实验室、仿生智能微系统实验室（筹）、超导中心等实验室，并在上海、南京、杭州、无锡、嘉兴、南通与地方合作共建了七个分支机构，与德国亥姆霍兹国家研究中心于利希中心共建了超导与生物电子学联合实验室，与中国铁路通信信号集团公司共建了轨道交通传感与传输联合实验室，与吉林大学共建了地球物理探测技术联合实验室等。

面向“十三五”，上海微系统所将按照“面向世界科技前沿、面向国家重大需求、面向国民经济主战场”的新时期办院方针，充分发挥电子科学与技术、信息与通信工程两大学科优势，解决智能感知微系统、超导量子器件与电路、高端硅基材料等方向的重大关键科学和技术难题，实现创新跨越并推广应用，成为信息网络/通信（ICT）领域不可替代、“四个一流”的国立研究机构，为建设创新型国家和世界科技强国做出更大贡献。